微间隙带相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微间隙带相关论文

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柔性显示空间隔离原子层沉积微间隙带工艺优化结构优化耦合仿真

高效模块化薄膜沉积系统设计及优化

原子层沉积（ALD）是一种超薄膜制备技术。它因其顺序发生自限制性半反应而被用在厚度精确可控、均匀性、一致性的薄膜制备。ALD技术因......

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空间隔离原子层沉积喷头结构微间隙带工艺条件生长速率均匀性

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