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恒谐振频率驱动相关论文

采用恒频参量激励的微机械陀螺驱动控制方案

提出一种基于恒定谐振频率和参量激励的微机械(MEMS)陀螺驱动控制方案.该方案利用三角形栅极电容实现,使得陀螺驱动谐振频率和品质......

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微机械(MEMS)陀螺驱动控制方案参量激励恒谐振频率驱动三角形栅极电容 MEMS gyroscopedrive-mode controlparametr

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