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悬空掩模结构相关论文
利用倾斜角度蒸发法制备Al/Al2O3/Al超导隧道结
利用电子束曝光法对双层光刻胶进行曝光来制备悬空掩模结构,在此基础上利用电子束蒸发系统采用倾斜角度蒸发法制备铝超导薄膜,采用......
期刊
Al/Al2O3/Al隧道结
双层光刻胶
悬空掩模结构
利用倾斜角度蒸发法制备Al/Al203/Al超导隧道结
超导约瑟夫森结是实现超导量子比特的基本元件,而量子计算的理论和实验研究已成为国际热点研究课题,我们在超导量子比特基本元件-约......
学位
悬空掩模结构
倾斜角度蒸发法
超导隧道结
量子计算
超导薄膜
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