成象式投影光刻系统相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

成象式投影光刻系统相关论文

一种新型微透镜阵列的成象式投影光刻系统的研究

从理论和实验两方面入手，系统地研究了微透镜阵列的形成原理和制作工艺，分析了微透镜阵列的面形结构，得到了联系微透镜阵列矢高与制作......

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成象式投影光刻系统微透镜阵列光刻胶熔融法离子束刻蚀法形成原理制作工艺超大规模集成电路 Microlens arraysMelting resist

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