研究了Ａｌ含量对（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜高温抗氧化性能的影响，并与ＴｉＮ薄膜进行了对比试验，试验结果表明：（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜的抗氧化性能明显优于ＴｉＮ薄膜，随着薄膜中Ａｌ含量的增加，薄......