抗高温化学腐蚀相关硕士博士期刊学术论文

TaC在高温环境下能够耐受氨水、氢气、盐酸和熔盐等液体或气体的强烈腐蚀,是AlN、GaN等第三代半导体单晶化学气相沉积或物理气相传......