抛光混床相关论文
针对电子级磷酸用超纯水的特点,采用UF超滤、RO反渗透双膜法+EDI组合工艺进行水净化处理,使出水达到电子级磷酸用水标准。......
文章介绍了无锡某半导体工厂后段封装产线超纯水系统的工程设计与运行情况。该系统采用了二级RO+CDI+抛光混床技术,确保产水水质达......
介绍了清华大学微电子学研究所VLSI用超纯水系统在设计过程中的一些特殊要求和遇到的重点问题。该系统在两级反渗透、电连续去离子......
昆山市某医用塑胶厂以自来水为水源,采用二级RO+EDI+超滤组合工艺制取超纯水。运行结果表明,采用二级RO+EDI+抛光混床+超滤工艺制......