在恒定直流偏压下，在稍长时间ｔ以后，等离子体气体锗膜生长遵从抛物线规律Ｘ＾２ｔ－Ｘ＾２ｅ＝ｋｔ，并由离子迁移理论推导出氧化速率常数ｋ。由于电场增强输运，等离......