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振动悬浮相关论文

预紧对蠕动式被动箝位压电驱动器性能的影响

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期刊

蠕动式压电驱动器预紧状态被动箝位振动悬浮 inchworm piezoelectric actuator preload inverse clampin

基于三角放大箝位的压电蠕动直线驱动器研究

蠕动式压电驱动器具有驱动力大、速度低和定位精度较高的特点,被广泛应用于微驱动平台和扫描电镜等设备中。随着航天工程的快速发......

学位

蠕动式驱动器断电箝位三角放大振动悬浮反激逆变

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