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该文利用热丝CVD装置分别在硅和石墨衬底上制备掺硼金刚石涂层电极.详细研究了制备CVD金刚石薄膜的工艺条件、衬底材料及掺杂浓度......
采用固体三氧化二硼,用热丝辅助化学气相沉积法在石墨衬底上沉积了掺硼金刚石涂层.用喇曼谱、扫描电镜及电导-温度关系研究了掺硼......