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掺磷多晶硅相关论文
掺磷多晶硅工艺及其腐蚀速率的研究
为更好掌握掺磷多晶硅腐蚀速率的变化规律,进而保障和改进MOS晶体管的栅极质量,从直接影响腐蚀速率的关键工步,包括多晶硅掺磷的均......
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