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厚类金刚石碳基薄膜的制备及摩擦与腐蚀性能的表征
目的设计多层掺Si交替沉积的厚DLC薄膜,改善SUS304不锈钢的耐磨性与耐蚀性,拓展其使用范围。方法使用等离子增强化学气相沉积(PECV......
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SUS304不锈钢
厚DLC薄膜
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耐腐蚀
掺Si
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