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电沉积铜填微通孔研究及其在高功率封装载板中的应用
随着芯片中器件密度逐步趋近于物理极限,芯片更密集的晶体管排布以及工作频率和带宽的增大带来了更大的散热负担。封装载板作为芯......
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通孔填充
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