无焦变倍相关论文
熔石英是准分子光刻系统常用的光学元件之一,长期的激光辐照会使熔石英产生老化现象,从而严重影响光刻效率和质量,因此对熔石英的......
为了研究深紫外光刻系统中多个熔石英镜片的使用寿命,基于激光束空间整形理论以及无焦变倍原理,设计一套满足实际工况的多镜片辐照......
激光准直扩束系统可应用在激光测距,激光切割,空间光学激光干涉仪等各个领域。其主要作用是通过改善激光束的空间发散角,提高光束......