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晶粒特性调控相关论文
超低功耗HfO2基铁电栅碳纳米管晶体管的研究
HfO2基铁电薄膜具有铁电性能优异、与现有集成电路制造工艺兼容和可微缩性强等特点,以其作为栅介质的铁电场效应晶体管和铁电负电......
学位
HZO铁电薄膜
晶粒特性调控
碳纳米管
负电容晶体管
超低功耗
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