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柔性微杠杆机构相关论文
基于柔性微杠杆机构的谐振式微加速度计研究
加速度计在国防和民用领域都有着广泛的应用。MEMS技术为加速度计在高精度、低成本和微型化等几个发展方向提供了基础。谐振式微加......
学位
微机电系统
加速度计
柔性铰链
谐振器
柔性微杠杆机构
传力系数
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