柔性超声波器件相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

柔性超声波器件相关论文

基于ZnO压电薄膜的柔性MEMS超声波换能器

该文提出一种柔性的微机电系统(MEMS)超声波器件。该器件由下电极、ZnO薄膜、上电极及聚酰亚胺柔性基底构成。其制作过程简单,采用......

期刊

压电式射频磁控溅射氧化锌薄膜柔性超声波器件压电薄膜表征 PMUT RF magnetron sputtering zinc oxide thin f

看过本文同时还关注