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栅绝缘层过孔相关论文

栅绝缘层过孔的反应离子刻蚀研究

为了适应薄膜晶体管液晶显示器窄边框化以及面板布线精细化的趋势,以及利用较少光刻次数生产出高品质的产品,本文研究了利用反应离......

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过孔绝缘层刻蚀栅绝缘层过孔反应离子刻蚀过刻量气体比例坡度刻蚀工艺布线

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栅绝缘层过孔反应离子刻蚀过刻量气体比例

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