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梳状硅基微陀螺相关论文

梳状硅基微陀螺的“Top-down”集成设计及耦合场分析

以梳状硅基微陀螺为典型实例,按照MEMS器件集成设计的"Top-down"思想,研究了硅微陀螺的实体建模、有限元分析、相关数据库的建立......

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微机电系统(MEMS) 集成设计 "Top-down"方法梳状硅基微陀螺耦合场分析

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