梳齿传感器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

梳齿传感器相关论文

纳米定位平台的拓扑设计及其集成式闭环控制研究

近十年来,以柔性铰链为导轨,压电陶瓷为驱动的精密定位技术得到了长足的发展,已经广泛应用到精密定位、精密机床、扫描隧道显微镜......

学位

柔性铰链拓扑优化多目标设计梳齿传感器模糊控制

基于微位移定位系统MEMS梳齿位移传感器的研究

MEMS梳齿位移传感器是一种基于MEMS技术电容理论的传感器，具有体积小、重量轻、性能稳定、功耗低和易于集成等特点。首先探讨了梳齿......

期刊

MEMS 梳齿传感器定位平台系统微位移

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