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纳米定位平台的拓扑设计及其集成式闭环控制研究
近十年来,以柔性铰链为导轨,压电陶瓷为驱动的精密定位技术得到了长足的发展,已经广泛应用到精密定位、精密机床、扫描隧道显微镜......
学位
柔性铰链
拓扑优化
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梳齿传感器
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基于微位移定位系统MEMS梳齿位移传感器的研究
MEMS梳齿位移传感器是一种基于MEMS技术电容理论的传感器,具有体积小、重量轻、性能稳定、功耗低和易于集成等特点。首先探讨了梳齿......
期刊
MEMS
梳齿传感器
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