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基于气体压缩式施压的纳米压印研究
随着大规模集成电路的推进和发展,集成度要求越来越高,特征尺寸急剧减小。伴随着特征尺寸不断减小的要求,传统光学光刻的分辨率受......
学位
纳米压印
气体压缩式施压
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