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微型高灵敏度皮拉尼真空计的设计与制造
真空封装是维持器件长期处于特定真空环境的技术,当内部真空超出有效真空范围时,便无法确保器件的正常工作。为预测封装寿命,需要......
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高灵敏度
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随着微机械加工技术和MEMS技术的快速发展,微型化成为传感器发展的重要方向。采用与标准IC工艺相兼容技术制作而成的微热板式微气......
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