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气流分布一致性相关论文
高效空气过滤器的流场一致性研究
高效空气过滤器(HEPA)作为洁净技术行业的核心设备,其效率的提升、性能的优化对与其相关行业的发展有着重大的意义。近年来其发展......
学位
高效空气过滤器
气流分布一致性
气溶胶混合
数值模拟
基于多孔介质理论的腔室流场分析
文章对半导体设备中腔室内的供风结构进行研究,采用数值分析的方法,对供风结构进行流场分析,根据分析的结果对结构进行优化,以达到......
期刊
高效空气过滤器
气流分布一致性
多孔介质
数值模拟
供风结构
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