氟掺杂SiO2薄膜相关硕士博士期刊学术论文

合成了六个多氟代季成四芳醚类化合物,并且对部分化合物掺杂于SiO_2薄膜的介电性质进行了研究。当氟原子掺杂浓度(F/Si)为1％时,薄膜......