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氟碳杂质相关论文
加压精馏除去四氟化碳中六氟乙烷等氟碳杂质的研究
讨论了通过低温加压精馏(-60℃、2 0MPa)除去四氟化碳中六氟乙烷等氟碳杂质,以达到4N级四氟化碳对氟碳杂质浓度的要求。......
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四氟化碳
低温加压精馏
氟碳杂质
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