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氢化非晶硅氧相关论文
RF-PECVD制备硼掺杂氢化非晶硅氧(a-SiO_x∶H)薄膜及其光电特性研究
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氢化非晶硅氧
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PECVD制备p型氢化硅氧薄膜及其光电性能研究
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,在高气压、高氢稀释比和高功率密度条件下,以硅烷和二氧化碳为反应气体,硼烷为掺......
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