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用MgO作为基片,用光加热法和直流磁控溅射成功地在基片上淀积了YBCO薄膜,Tc为86~87K.本文介绍了进行薄膜淀积前对MgO基片的高温热处......
采用射频磁控溅射沉积在(001)MgO和蓝宝石(1102)基片上制备CeO2薄膜.研究了基片温度、溅射气压和溅射功率等条件对的CeO2薄膜质量......
本文报道了利用化学气相沉积技术制备MgB2超导薄膜.首先在MgO(111)基片上化学气相沉积一层B膜,然后在Mg蒸气环境下对B膜进行后退火......