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氧沉淀工艺相关论文
P型直拉单晶硅中的氧沉淀对Cu沉淀的影响
研究了p型直拉单晶硅中经Ar气氛下750 ℃/4,8h+1050℃/0~16h低高两步热处理形成的氧沉淀对铜(Cu)沉淀的影响。经过择优腐蚀,结合光学......
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