氮化铝薄膜制备相关硕士博士期刊学术论文

用作压电材料的氮化铝薄膜要求有100或002晶体取向。薄膜的晶体取向与薄膜制备时的溅射气压、靶基距、靶功率有关。本工作应用支持......