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永磁体内嵌相关论文
永磁体内嵌式超洁净阀及其优化设计方法
面向半导体、生物医药、电子级化工等领域的超洁净流控需求,提出了一种新的永磁体内嵌式超洁净阀结构。将永磁体嵌入超洁净材料(如......
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半导体
超洁净
阀
永磁体内嵌
semiconductor
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permanent magnet embedded
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