沉积Cu膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

沉积Cu膜相关论文

退火气氛及扩散阻挡层对多层膜热稳定性的影响

沉积在ZrN,TaN阻挡层上的Cu膜分别在真空和氢气、氮气的混合气氛下退火.利用SEM、XRD和电阻率来表征多层膜的热稳定性.实验结果表......

期刊

沉积Cu膜热稳定性扩散阻挡退火气氛 deposited Cu film thermal stability diffusion barrier an

看过本文同时还关注