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液态金属汞在硅片表面的润湿行为研究
针对常温下的液体在固体表面的润湿行为研究.以液态金属汞为研究对象,采用真空等离子体刻蚀工艺制备不同表面形貌的硅片,研究不同......
期刊
等离子刻蚀
表面粗糙度
滴液体积
接触角
润湿行为
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