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激光损伤特性测试装置相关论文
PECVD技术制备单层光学薄膜抗激光损伤特性研究
采用PECVD技术在BK7玻璃基底上沉积了不同厚度的单层SiO2(折射率为1.46)和SiNx(折射率为1.84)光学薄膜,并对这2种膜层进行抗激光损......
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PECVD
光学薄膜
激光损伤阈值
激光损伤特性测试装置
损伤形貌
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