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灯丝间距相关论文
灯丝间距对CVD金刚石厚膜生长的影响
本文采用热丝化学气相沉积方法制备CVD金刚石厚膜,通过灯丝间距缩短为4mm,同时增加围挡,使得CVD金刚石厚膜的生长速度可达到7.5μm/h......
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金刚石厚膜
热丝化学气相沉积法
灯丝间距
围挡
生长速度
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