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多热源碳化硅合成炉热源参数与产率的关系研究
利用ANSYS软件对多热源炉温度场数值计算的模拟结果,系统地分析了热源数目、炉芯间距与产率之间的关系.研究发现,炉芯间距过大或过小,......
期刊
碳化硅
热源数目
炉芯尺寸
炉芯间距
SiC
furnace core number
furnace core size
furnace core dis
多热源“熔透”法合成碳化硅的实验研究
目前,大规模工业生产SiC的方法有Acheson法和多热源法两种。Acheson法经过多年的应用已经很成熟,但生产的产品能耗高、产量低、质量......
学位
碳化硅
多热源“熔透”法
数学解析
数值模拟
炉芯间距
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