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热丝化学气相沉积大面积金刚石膜温度场的模拟计算

对热丝化学气相沉积（ＨＦＣＶＤ）生长金刚石膜过程中影响衬底温度场的热丝几何参数及其他相关沉积参数进行了模拟计算．结果表明，通过优化参数，用８０ｍｍ ......

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热丝化学沉积金刚石膜温度场模拟计算

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