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影响热氢化炉稳定运行时间的因素
通过对氢化炉内加热载体的使用寿命、氢化炉铜排和电极绝缘值等影响因素的分析,提出了提高氢化炉连续稳定运行时间的解决方法。......
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热氢化炉
加热体
稳定运行
多晶硅
thermal hydrogenation
heating element
stable running
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