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微型温差发电堆的研究
微型温差发电堆是依靠MEMS技术、利用热电材料将热能跟电能直接转换的装置。随着MEMS技术的发展,越来越多的微型器件被研制出并投放......
学位
微型温差发电堆
热电偶臂
电化学沉积法
工艺参数
结构形式
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