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热钯丝相关论文

热钯丝在硅烷气氛下的奇异行为及其解释

报道了热钯丝在低压硅烷气氛下的奇异行为，并给出了初步的解释，揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因。......

期刊

热丝淀积法薄膜硅淀积固体异常核反应热钯丝 Hot wire deposition method Silicon thin film deposition

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