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片外实验装置相关论文
微构件力学性能片外拉伸测试实验装置研究
随着MEMS的发展,在产品设计、加工、封装及性能和可靠性测试中,不可避免地遇到了大量的力学问题。但是,针对MEMS应用中微尺度条件下的......
学位
MEMS
微构件
力学性能
拉伸测试
片外实验装置
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