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离轴非球面光学零件磁流变抛光关键技术研究
现代科学技术的飞速发展,使得基于离轴非球面光学零件的反射式光学系统在对空观测、对地观测、极紫外光刻等前沿领域得到了广泛应用......
学位
离轴非球面
磁流变抛光
去除函数
变曲率
高动态性
加工位姿
非线性
修形工艺
特征量参数
工艺路线优化
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