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环形驱动器相关论文

环形静电排斥旋转驱动器微光机电系统微镜

微光机电系统（MOEMS）微镜在激光显示、光束扫描、自适应光学等领域都有重要应用。现有的MOEMS微镜驱动器一般为静电吸引型,难以克服......

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微光机电系统微镜表面工艺静电排斥环形驱动器旋转角 micro opto electro mechanical systems micro mirro

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