电化学深刻蚀相关论文
在硅衬底上刻蚀深沟槽和深孔是在传感器技术的一种重要的加工手段.可以用于制作加速度传感器、陀螺仪、穿过硅片的互联和射频(RF)......
微通道由于有其特殊的结构因而能够应用在很多领域，如微通道板，微型热传导器件，微全分析系统，以及微型化工设备等。近年来，由于硅微通道......
光辅助电化学深刻蚀技术以其所具有高深宽比和低成本等优点，目前已经在MEMS传感器、光子晶体等领域得到广泛应用。但目前在利用电化......
