电子束“轮廓曝光”工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

电子束“轮廓曝光”工艺相关论文

跨尺度图形加工与转移及其纳米间隙器件应用研究

跨尺度金属微纳米结构和纳米间隙是微纳加工领域中最为关心的话题之一。任意衬底上具有超小金属纳米间隙的图形化在纳米电子学、纳......

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跨尺度微纳结构电子束“轮廓曝光”工艺纳米转移印刷纳米间隙力学后组装

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