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电子束光刻(EBL)相关论文
紫外纳米压印OLED衬底微结构的模板制备
采用紫外纳米压印工艺,在有机发光二极管(OLED)衬底上制备三维立体微结构,可以有效提高器件的出光效率,增加器件发光亮度。而有效......
期刊
有机发光二极管(OLED)
紫外纳米压印
电子束光刻(EBL)
模板
微结构
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