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电子束蚀刻相关论文

电子束蚀刻高分子薄膜制备微孔分离膜的研究

本文以机械钻孔形成的微米多孔金属膜为掩膜，以聚碳酸酯(PC)、聚酰亚胺(PI)为基膜，电子束通过掩膜上的小孔，辐照(蚀刻)高分子基膜，再用......

学位

电子加速器微孔分离膜电子束蚀刻高分子薄膜

电子束辐照PET薄膜制备有序多孔阵列高分子模板

本文用掩膜工艺电子束蚀刻技术产生具有潜影的聚酯（PET）薄膜，经强氧化液（浓硫酸与重铬酸钾的混合液）腐蚀，产生有序微米多孔阵列PET模板。......

期刊

模板 PET 掩膜电子束蚀刻腐蚀 Template PET Mask EB etching Corrode

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