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电子辅助-热丝化学气相沉积相关论文

EA-HFCVD沉积纳米金刚石膜的光致发光分析

采用电子辅助-热丝化学气相沉积法（EA-HFCVD）在硅片上沉积出晶粒尺寸为30nm的均匀金刚石膜。生长过程中,预先加6A偏流生长1h,然后在0......

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