电徙动失效相关硕士博士期刊学术论文

电徒动失效是ＶＬＳＩ金属化系统的主要失效形式。该文提出了一种新型ＴｉＷ膜自加热结构，产生沿金属化条长方向的温度梯度。文中采用分别独立的试......