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电感耦合等离子体溅射沉积相关论文
n型与p型ZnO基稀磁半导体薄膜的制备与磁性研究
ZnO基稀磁半导体是近年来发展起来的新型功能材料,是当前研究的热门课题.本文采用磁束缚电感耦合等离子体溅射沉积法制备了不同导......
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