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界面(相)力学相关论文
微电子机械系统的几个力学问题
讨论微电子机械系统 (MEMS)的三个力学问题 :( 1)微系统界面区域的力学性质。 ( 2 )薄膜—基底结构界面的裂纹扩展。 ( 3)微机械的......
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微电子机械系统
界面(相)力学
薄膜基底结构
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